技术编号:35184904
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及单晶炉冷却的技术领域,尤其涉及一种举升组件和冷却装置。背景技术.单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨场将多晶硅等多晶材料熔化用直拉法生长无错位单晶的设备,为了对塌内的硅液进行保温,塌与单晶炉的炉壁间一般设置有侧保温壁。.每拉制完至少一根硅棒后,或对单晶炉进行检修维护时,均需要对单晶炉的炉腔进行冷却,促进堆场散热降温,冷却过程中,覆盖在堆场周侧的侧保温壁势必降低堆场的冷却速度。.目前,在相关技术中,如专利号为cnu的实用新型专利中,是通过在单晶炉的炉底上开...
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