技术编号:35198818
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及包括套刻标记(overlay key)的半导体器件。背景技术.由于其小尺寸、多功能和/或低成本特性,半导体器件正被视为电子工业中的重要元件。半导体器件被分为用于存储数据的半导体存储器件、用于处理数据的半导体逻辑器件以及包括存储元件和逻辑元件两者的混合半导体器件。随着电子工业的发展,对具有改善的特性的半导体器件的需求日益增长。例如,对具有高可靠性、高性能和/或多功能的半导体器件的需求日益增长。为了满足这种需求,半导体器件的结构复杂性和/或集成密度正在增大。.随着半导体器件的集成密...
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