技术编号：35208627
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种基于fbar的高灵敏度高精度离心式mems陀螺技术领域.本发明涉及微电子机械系统器件领域，具体是一种基于fbar的高灵敏度高精度离心式mems陀螺。背景技术.作为惯性技术的核心器件之一，mems陀螺在工业控制、航空航天、国防军事、消费电子等领域发挥着重要作用。但在实际应用中，现有mems陀螺存在如下问题：其一，现有mems陀螺由于检测元件所限，存在检测灵敏度较低的问题。其二，现有mems陀螺的力敏结构需要被驱动才能正常工作，而驱动方向的振动往往会对检测方向的运动产生影响，由此造成驱动对检...
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