技术编号:35230767
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及精密测量技术领域,更具体地说,它涉及一种激光干涉量测设备。背景技术.目前,激光干涉量测设备通过从激光器发出光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机通过激光波长和总脉冲数算出可动反射镜的位移量。.但是,在现有的激光干涉量测设备中,通常是采用一受光器接收两路分别从固定...
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