技术编号:35234123
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种大理石平台,特别是涉及一种用于半导体生产的大理石平台,属于大理石平台技术领域。背景技术.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,为保护其性能通常采用大理石面作为操作平台,大理石平台取材于地下优质的岩石层,经过亿万年自然时效,形态极为稳定,不用担心因常规的温差而发生变形。经严格物理试验和选择的花岗石料,结晶细密,质地坚硬,极耐磨损、耐酸、耐碱,有很高的耐腐蚀性,永远不会生锈。由于大理石系非金属材料,绝无磁性反应,亦无塑性变形。其硬度比铸铁高-倍,因此精度保持性...
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