端面耦合器及光模块的制作方法技术资料下载

技术编号:35290380

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.本申请实施例涉及半导体技术领域,尤其涉及一种端面耦合器及光模块。背景技术.硅光集成技术是实现高集成度、大带宽的光模块的关键技术,采用大规模集成电路工艺将调制器阵列、探测器阵列、无源器件等集成在同一个芯片上,利用片上集成代替传统的分立器件封装方案,能够大幅度降低封装的难度,提升光模块整体的带宽,并且能够有效降低成本。.硅光集成模块的光引擎由激光器、硅光芯片和光纤等部分组成,为了使得激光器与硅光芯片,以及光纤与硅光芯片的低损耗耦合,在激光器与硅光芯片之间,以及光纤与硅光芯片之间均设置有端面耦...
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