技术编号:35297849
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本说明书中实施方式关于流量传感器的技术领域,具体涉及一种气体流量计的标定方法、标定装置和测量装置。背景技术.随着科技技术的发展,气体流量测量计在工业生产中得到广泛的应用。其中,该气体流量计可以对气体、液体、蒸汽等介质流量进行测量。随着技术的发展,mems技术得到发展,基于mems技术的热式气体流量传感器具有响应快、功耗低、体积小、高度集成等特点,使得基于mems技术的热式气体流量传感器得到了很大发展。.热式气体流量计是基于流体传热学原理,即利用流体与传感器热源之间热量交换关系来测量气体流...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。