技术编号:35351107
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及镀膜技术领域,特别涉及一种非接触式易碎薄片压紧装置。背景技术.目前,市面上普遍都是卧式镀膜设备,硅片是躺在硅片载板上的,由于卧式镀膜设备产能低质量差,立式镀膜设备-热丝cvd设备应运而生,硅片在立式镀膜设备中镀膜一般采用销钉配和盖板压住硅片边缘的方式(一块盖板压住多个硅片),不过该方式由于热膨胀容易导致盖板将硅片压碎,而且该方式还会盖住较多的硅片面积,导致硅片镀膜面积变少,造成产能浪费。发明内容.有鉴于此,本发明的主要目的是解决上述技术问题。.本发明提供一种非接触式易碎薄片压...
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