技术编号:35424617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于缺陷检测技术领域,更为具体地讲,涉及一种基于神经网络架构搜索的晶圆缺陷检测方法。背景技术.近年来,半导体产业的重要性日益增加,半导体制造包括四个过程,即生产、测试、组装和最终测试。在晶片测试阶段,将对晶片上每个管芯的功能进行测试,并将检测结果绘制为晶片图。晶片测试部分对半导体晶片制造系统(swfs)至关重要,因为晶片图可用于缺陷模式识别(dpr),便于检查生产中的问题并提高后续产品的良品率。.在摩尔定律的指导下,晶片图上的管芯密度随着晶片制造技术的发展而大大增加。当晶片上的管芯...
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