技术编号：35443753
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及芯片制备技术领域，具体涉及一种多高度波导的制备工艺。背景技术.随着信息产业的快速发展以及物联网、云计算和大数据时代的到来，人们对于信息数据的容量和处理速度的要求越来越高。虽然随着摩尔定律的发展，传统的微电子器件尺寸逐渐减小，件性能和功耗不断地改善，但在巨大的数据应用需求下，在速率和功耗等方面的缺点日益凸显，而光集成技术（pic）在尺寸、功耗、成本、可靠性等方面优势明显 ，是未来发展主流。.波导和各种光器件作为信号加载，传输和转换的载体，是光集成芯片关键技术之一。不同性能需求需要...
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