技术编号：35455694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种带有偏压引线的样品台组件及mpcvd系统技术领域.本发明涉及微波等离子体技术领域，具体而言，涉及一种带有偏压引线的样品台组件及mpcvd系统。背景技术.mpcvd(microwave plasma chemical vapor deposition，微波等离子体化学气相沉积)方法被认为是当今国际上制备高质量金刚石膜的首选方法；而上述方法需要用到专用的mpcvd系统。其基本结构包括腔体和设置在腔体内的样品台，而样品台上放置有用于镀膜的基片。工作时，将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入...
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