技术编号：35540582
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及微纳科学与技术研究中的精密仪器领域，更具体地说，本发明涉及一种原子力显微镜精确扫描硬件控制系统。背景技术.afm广泛应用于半导体、微纳行业，是利用微悬臂上精密探针与被检测样品接触时的相互作用力来达到检测的目的。通过检测探针偏转量并作用反馈控制其排斥力的恒定，获得微悬臂对应于各点的位置变化，从而获得样品表面形貌的图像。受限于当今控制系统，控制不够灵活且扩展性较低，同时数模、模数转换芯片精度较低，导致微调不够精确。因此改进原子力显微镜硬件控制设计系统成为当前研究方向的关键。.本发明...
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