技术编号：35562156
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。sem量测工具的双焦点解决方案.相关申请的交叉引用.本申请要求于年月日提交的美国申请/,和于年月日提交的us申请/,的优先权，其全部内容通过引用并入本文。技术领域.本描述涉及一种电子射束(e射束)检查装置，被配置为检查诸如半导体器件之类的样品。背景技术.在半导体工艺中，不可避免地会生成缺陷。这样的缺陷可能会影响器件性能，甚至会导致故障。因此，器件产率可能受到影响，从而导致成本增加。为了控制半导体工艺产率，缺陷监测很重要。用于缺...
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