技术编号:35594862
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及废气处理设备技术领域,更具体地说,它涉及一种特气处理用储水箱。背景技术.电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”,狭义的“电子特气”特指电子半导体行业用的特种气体,在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏,电子特气的产品种类丰富,硅烷是半导体制造中所用最重要的气体品种之一:硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体,吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病,这是由于存在结晶二氧化硅的原因,它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的...
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