技术编号：35658881
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于红外探测器芯片领域中的一种薄膜以及采用所述薄膜的热电堆芯片，具体涉及一种金属纳米粒子负载类蜂窝状多孔硅薄膜及其制备方法、采用所述金属纳米粒子负载类蜂窝状多孔硅薄膜的热电堆芯片及其制备方法。背景技术.热电堆红外探测器是非制冷红外探测器的一种，具有无需斩波、寿命长、稳定性好、功耗和成本低等优点，被广泛应用于非接触测温与存在感知，在非分散红外气体检测与红外成像等领域也有广阔的应用前景。作为热电堆红外探测器的核心元件，热电堆芯片主要由支撑层、热电偶、绝缘层和红外吸收层等薄膜构成。红外吸收...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。