技术编号:35693348
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种回转机构,具体涉及一种热阻蒸发用回转机构。背景技术.真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来,溅射到被镀物体的表面上,从而形成一层薄膜。回转机构是真空镀膜设备上必不可少的机构之一。通过回转机构带动被镀物体旋转,能使镀膜材料很好地溅射在被镀物体表面。通过回转机构的使用,有效提高了真空镀膜设备的工作效率。.如公开号为cnu的专利一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构,涉及真空镀膜技术领域,为解决现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部,导致安装的不够稳定,...
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