技术编号:35694750
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于光学检测技术领域,涉及一种基于多刃边扫描的高效高精度波前检测方法及装置。背景技术.早在年,olivier h.等人就利用笔光束扫描法进行了反射镜的面形检测(参考文献hignette o,freund a k,chinchio e,incoherent x-ray mirror surface metrology[j].proc.spie,,:–);类似的,在年sutter j.等人也利用笔光束扫描法进行了自适应变形镜面形的在线检测(参考...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。