技术编号:35729785
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种便于除尘的mpcvd设备技术领域.本实用新型涉及mpcvd设备技术领域,尤其涉及一种便于除尘的mpcvd设备。背景技术.mpcvd设备作为优异的钻石培育设备,其工作原理为通过微波源产生微波,在微波场的作用下,反应气体被激发为等离子体状态,等离子体是部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,等离子体呈球状形成于金刚石衬底上,利用等离子体的高温让衬底可以加热到一定的温度,用kw微波功率的mpcvd设备,可以以微米级每小时的速率沉积工具级金刚石膜、热沉积金刚...
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