技术编号:35831354
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及电容器镀膜加工技术领域,特别涉及一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。背景技术.真空蒸镀为特定的密封室容器内,在真空条件下将蒸发铝、金、银、铬等金属加热至熔融状态,使蒸发的金属原子沉积在镀件表面形成真空镀膜,真空镀膜由于其不易脱落,镀膜硬度高等优点被广泛的应用于电容器的镀膜加工中,具体是对制造电容器外壳的原料板实施镀膜。.现有蒸镀设备上对镀件实施上下料的开口或者槽体多直接开设于真空密封室容器的侧壁上,在对镀件实施上下料时,需将真空密封室容器上的开口或者槽体打开才能实施,当将开口...
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