技术编号:35866096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明实施例涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种判定硅片等级的方法、装置、设备及计算机存储介质。背景技术.硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。众所周知,由硅片制成的半导体器件有着惊人的运算能力。随着自动化技术和计算机技术的飞速发展,由硅片制成的半导体器件的应用范围越来越广,目前已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防等各个领域。当然,随着硅片在各行各业的广泛应用,其对硅片的质量要求也日益严苛,可以理解地,成品硅片上的任何细微差异都会影响...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。