技术编号：35898947
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆盒识别装置及晶圆盒装载台。背景技术.在晶圆生产过程中，需要装载在晶圆盒内部完成转移和生产。因此每个机台都设置有晶圆盒装载台，完成晶圆盒的上载、晶圆的传送和加工等。.在晶圆出货中，不同客户对晶圆盒的要求不同，因此会出现不同类型的晶圆盒。常规的装载台无法识别不同类型的晶圆盒，只能依靠人工确认，风险极高，错误晶圆盒的上载将引发robot(机械手臂)碰撞或者碎片问题，导致设备严重宕机。实用新型内容.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆盒...
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