一种基于液态镓的冷冻离心纳米压印方法技术资料下载

技术编号:35908049

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.本发明属于纳米压印材料技术领域,具体涉及一种通过冷冻离心法将压印模板表面的微纳米凹凸结构转印到液态金属镓材料的表面,并固化镓基微纳米压印结构的方法。背景技术.纳米压印技术是一种利用表面带有微纳米级凹凸结构图案的模板,通过机械压印的方式将模板上的图案转移到待压印材料上的先进微纳加工工艺。主要步骤包括:)制备压印模板:通过电子束光刻、离子束刻蚀或光学光刻等微加工技术,在硬模板或软模板材料的表面加工出特定的凹凸结构图案;)准备压印材料:选择具有良好可塑性、表面平整度以及能够固化的材料作为待压...
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