技术编号:35932876
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。mpcvd装置及其应用.技术领域.本发明涉及微波等离子体的技术领域,尤其是涉及一种mpcvd装置及其应用。.背景技术.金刚石是天然物质中最硬的材料,在热学、声学、光学以及电学等方面具有优异的物理化学性能。人工合成的高品质金刚石膜具有媲美天然金刚石的高硬度、高热导率、低热膨胀系数以及高透光率等的诸多优异性能,因而在工业上有着广泛的用途,例如可以制作耐磨刀具、声学膜片、光学透过窗口以及芯片散热片等。此外,在传统的硅基半导体已经接近物理极限的情况下,金刚石以其超宽的禁带和极高的载流子迁移率,已...
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