技术编号：35972447
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及使用于被检体的电特性的检查的探针和探针卡。背景技术.为了在不使半导体集成电路等被检体从晶圆分离的状态下检查半导体集成电路等被检体的电特性，使用一种具有与被检体接触的探针的探针卡(参照专利文献。)。在探针卡中，在与被检体的检查用垫对应的位置配置探针。因而，当由于半导体集成电路的微细化而检查用垫的配置间隔变窄时，探针的配置间隔也变窄。若使探针的配置间隔较窄，则当在对被检体进行检查的过程中探针在探针头的内部的空间弯曲时，相邻的探针有可能彼此接触。因此，采取了这样的对策：在探针头的内部...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。