技术编号：35992050
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。基于小型化cmut封装单元的环阵测试装置及其制备方法技术领域.本发明属于传感器技术领域，特别涉及小型化传感器的封装及测试技术领域，具体是一种基于小型化cmut封装单元的环阵测试装置及其制备方法。背景技术.随着超声医学检测技术的不断发展，传统的压电式微机械超声换能器（pmut）在检测中的问题逐渐凸显出来，由于压电换能器与介质阻抗不匹配，严重影响了换能器的收发性能与灵敏度，另外传统pmut的带宽较窄，横向分辨率不高，导致三维成像不够清晰，还存在着不易于集成，制作过程中工艺的局限性的诸多因素的影响...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。