技术编号：35996643
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体功率器件技术领域，特别是一种复合场限环圆形版图横向功率器件及制备方法。背景技术.横向功率器件作为功率集成电路的重要组成部分，因具有体积小、易集成、击穿电压大、导通电阻低、转换性能优越、工艺兼容好等众多优点而广泛应用于通信电子、汽车电子、智能家具等领域。如何降低横向功率器件的导通电阻等电学特性是器件设计的目标之一。其中场限环终端技术通过变形终端结构的场限环，在降低比导通电阻问题上取得了显著效果，其基本原理是，在主结反偏电压的作用下，在电压未达到主结击穿电压之前，主结的耗尽区会...
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