技术编号:36010590
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。基板处理方法.本申请是申请日为年月日、申请号为.、发明名称为“基板处理方法”的申请的分案申请。技术领域.本发明涉及用于处理基板的基板处理方法。在成为处理对象的基板中,例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示用基板、fed(field emission display;场致发射显示装置)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等基板。背景技术.例如在对基板一张一张地进行处理的单张式基板处理装置的基...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。