技术编号：36048168
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及光刻设备技术领域，具体而言，涉及一种主动刚度阻尼装置及具有其的光刻设备。背景技术.平面光栅测量系统是光刻设备的核心分系统，平面光栅测量技术的应用极大地提高了光刻设备的套刻精度和产率，其中，平面光栅作为光刻设备中用于测量工件台相对于计量框架位置的测量基准，其工作状态下的结构动态稳定性直接影响工件台的定位精度。.现有光刻设备在工作过程中，工件台在平面光栅下高速工作时产生的气流压力波会对平面光栅和光栅安装板产生冲击力，进而对平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性造成干扰。实用新型内...
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