技术编号：36051761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及微机电系统(mems)技术领域，尤其涉及一种可实现数字化步进式旋转控制的微镜。背景技术.mems微镜是mems产品中的一个热点产品，其应用广泛，包括光通讯、d相机、投影仪等。尤其在近些年，mems微镜已成为车载车载激光雷达中的重要部件，且随着自动驾驶技术的发展，对mems微镜的市场需求越来越大，对其技术也提出了更高的要求。.现有mems微镜产品一般使用静电力、热应力、电磁力等方案，来控制微镜的旋转。以热应力方案为例，其机理在于，通过在控制梁结构上设置不同热膨胀系数的薄膜，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。