技术编号:36096359
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种sonos存储器件的制作方法技术领域.本申请涉及一种半导体器件领域,更具体的说,涉及一种sonos存储器件的制作方法。背景技术.随着技术的发展,对大数据的分析对数据的存储与处理的需求越来越高,因此对非易失性存储器也随之升高。在非易失性存储器中,sonos结构的flash存储器的操作电压低,擦写速度快,容量大等优点,被广泛应用到更重电子产品中。.但sonos存储器件的工艺制程较为复杂,复杂的工艺带来更低的良率和更高的成本,不利于大面积推广使用。并且sonos存储器件在使用过程中,随着不断...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。