技术编号:36101884
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种汞灯光源检测组件及uv固胶机技术领域.本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种光汞灯光源检测组件及uv固胶机。背景技术.uv固胶机是一种采用uv光源对光刻胶进行快速固化的设备,其被广泛应用于半导体领域中,以使晶圆在光刻、显影后进行固胶。uv光源是uv固胶机中的核心部件之一,uv光源的均匀性是保证uv固胶质量的重要参数,因此,为了保证晶圆固胶质量,需要定期对uv固胶机的光源均匀性进行检测。.现有技术中,通常在uv固胶机内设置多个光源检测装置对固胶机内部的光源均匀性进行检测,但是该种检测方式...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。