技术编号：36107794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体器件技术领域，具体而言，涉及一种激光器及其制备方法。背景技术.垂直腔面发射激光器(vertical-cavity surface-emitting laser，vcsel)是一种出光方向垂直与谐振腔表面的激光器，具有阈值电流小，发散角小且光斑呈现圆形对称性，易二维集成等优点，目前被广泛应用于光互连、光存储、光通信等领域。.现有vcsel器件出射的激光包括多模态激光和单模态激光，目前光通信高速vcsel大多采用多模态的出光形式。多模态出光的vcsel在提高出光功率的同时会降...
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