技术编号：36134656
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型是关于太阳能电池片生产技术领域，特别是关于一种防锈蚀输气管。背景技术.太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测‑‑表面制绒及酸洗‑‑扩散制结‑‑去磷硅玻璃‑‑等离子刻蚀及酸洗‑‑镀减反射膜‑‑丝网印刷‑‑快速烧结等。其中，扩散制pn结工艺是太阳能电池片生产的关键工艺，直接决定太阳能电池片的质量。扩散制pn结需要在特定的石英炉管中进行，输气管是炉管上的配套组件，用于炉管的进出气。.目前，炉管上的输气管一般为金属材质，其表面极易产生氧化锈蚀，为了增强输气管的防腐蚀性，一般都会在炉管上...
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