技术编号：36169414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于硅基光子集成芯片领域，涉及一种胶体纳米晶硅基光子集成回路无源器件及其制备方法。背景技术.硅基光子集成芯片技术具有与cmos兼容、高集成度、低能耗及低成本等优势，在光互联、光测量及光传感等领域具有广阔的应用前景。在硅基光子集成芯片回路中，光波导、微环谐振器及马赫曾德干涉器(mzi)等无源器件发挥着光信号传输、过滤及分配等基础功能。因此，低损耗、低成本及可批量制备的无源光子器件一直是研究的热点。.现阶段硅基光子集成回路无源器件的研究与开发主要集中于硅(si)、氮化硅(sin)、铌酸...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。