光测定装置的制作方法技术资料下载

技术编号:36175608

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.本公开涉及光测定装置。背景技术.存在通过脉冲传播方式、三角测距方式、共焦方式、白光干涉方式、或者波长扫描干涉方式等方式来测定距对象物的距离的光测距方法。这些方式中的白光干涉方式和波长扫描干涉方式等是使用光的干涉现象的干涉方式。在干涉方式中,将从光源射出的光分支为测定光和参照光,使测定光在对象物上反射的光即反射光与参照光干涉,基于反射光与参照光相互增强的条件来测定距对象物的距离。.例如,专利文献所记载的光学的测定装置使用了光的干涉现象。通过分束器将频率调制后的半导体激光器的输出光分为两部...
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