技术编号：36186840
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种光刻机中的光束检测装置。背景技术.现有的光刻机设备中，在光刻机作业的过程中，如果楼下光束的位置发生变动，需要对变动后的光束的位置进行检测，但是现有的光束位置检测方法，通常是需要楼上拆开光束管路，在楼上光束管道的出口处增加光束检测工具，根据光束检测工具上的位置进行校准，但是这种方法，需要将光束管路拆开，并安装光束检测工具，然后再将光束管路复原，从而导致作业时间较长，不利于快速检测。实用新型内容.鉴于此，本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，以解决现有的...
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