技术编号：36238498
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及一种具有高灵敏度的压电微加工压力换能器，以及相应的制造工艺。背景技术.众所周知，目前有许多压力换能器可用，例如所谓的压电微机械超声换能器(pmut)，它们是微机电系统(mems)类型的装置，其允许将压力信号(例如声信号)转换成电信号，反之亦然。此外，已知pmut换能器通常包括致动压电结构，该致动压电结构又包括压电材料区域；通常，这种压电材料是所谓的pzt。.关于pzt，已知的是，假设pzt区域具有平行六面体的形状和正交参考系xyz，所谓的参数d的值将pzt区域沿x的缩短程度...
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