技术编号：36262434
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及研磨技术领域，具体为一种石碳化硅用石墨件研磨装置。背景技术.物理气相传输法pvt生长sic晶体的过程中，籽晶、石墨材料粘合技术是决定晶体质量重要的一环，目前技术路线基本是石墨件粘连石墨纸，石墨纸粘连籽晶的技术路线。但在采用石墨件作为生长台座时，部分厂商石墨件加工效果达不到要求。平整度不平会直接影响到石墨件、石墨纸、与籽晶的粘接效果，进而影响到sic晶体初始生长界面的热量分布和晶圆表面能，进而影响到长晶效果；.而现有的研磨设备主要用砂纸、砂盘对石墨件表面进行打磨，目前可以选择人工...
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