技术编号：36268645
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种重氮萘醌化合物及其制备工艺、光刻胶及其制备工艺技术领域.本发明涉及光刻胶技术领域，具体指有一种重氮萘醌化合物及其制备工艺、光刻胶及其制备工艺。背景技术.光刻胶又称光致抗蚀剂，是由感光树脂、光敏剂和溶剂等组成的光敏感混合物，其在紫外光光束照射下，能够发生交联固化或者降解反应，在集成电路、液晶显示、太阳能光伏、微机电系统等电子领域有着广泛的应用。.现有的光刻胶体系中，主要分为正性光刻胶和负性光刻胶。正性光刻胶大部分是使用重氮萘醌型光敏剂，其中重氮萘醌化合物是以氯磺化反应制成，传统方式是以氯...
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