技术编号:36296232
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种磨轮法兰防护罩、磨轮组件和研磨设备技术领域.本实用新型实施例涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种磨轮法兰防护罩、磨轮组件和研磨设备。背景技术.硅片生产加工过程中,包括对硅片的进行研磨的工艺过程,这些工艺过程中,这些研磨的工艺过程中,回产生大量的粉尘,这些粉尘会在磨削设备上生长和结晶,生长和结晶的粉尘可能堵塞安装孔等结构,且生长的生长和结晶可能难以在短时间内完全清除,这会影响后续磨轮重新安装的精度,可能对加工过程造成不利影响。实用新型内容.本实用新型实施例提供一种磨轮法兰防护罩、磨轮组件...
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