技术编号:36314490
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及多晶硅片加工技术领域,具体来说,涉及一种多晶硅片加工装置及其加工方法。背景技术.多晶硅片是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅,多晶硅片加工过程中,需要对成型的晶棒进行分切和多晶硅片的清洗工作,现多使用加工装置完成,实际使用具有操作简单、结构稳定和使用效果好等优点。.然而现有的加工装置应用时存在以下问题:需要止停晶棒的分切工作,才可对晶棒进行重新装填工作,由于...
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