技术编号：36321510
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于半导体输送技术领域，具体地说，涉及一种高效率半导体制晶片输送装置。背景技术.半导体运输是指将半导体材料、晶圆、器件或相关设备从一个地方（例如制造工厂、供应商或仓库）运送到另一个地方的过程，在半导体工业中，半导体运输是一个关键的环节，现有技术中，半导体运输一般通过两种方式对晶圆进行运输，一种是通过agv小车根据预设路线自动导航进行运输，另一种是通过晶圆天车进行运输，晶圆天车是一种用于悬挂、移动和处理半导体物料的关键设备，因为晶圆天车运输过程中能够保持较好的稳定性，因此大多数的半导体...
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