技术编号：36322798
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于离子泵技术领域，具体涉及一种用于连接标准真空电馈通的微型离子泵。背景技术.离子泵是一种利用潘宁放电效应来提高真空度的抽真空设备，多用于超高真空系统之中。现有的离子泵包括内置了蜂窝状阳极筒的泵体，以及分别设于阳极筒上下两侧的阴极板，阳极筒上接有直流高压电，使泵体内的自由电子朝向阳极筒运动，运动过程中电离阳极筒内的空气，电离产生的气体离子轰击阴极板，阴极板溅射出的钛原子与气体反应并凝固在阳极筒上，从而使离子泵发挥抽真空的功能。.现有技术中的离子泵还在泵体上下两侧安装了磁体，从而使泵...
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