技术编号:36349473
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于高纯材料制备领域,更具体地说,涉及一种超纯锡棒材生产设备。背景技术.随着科学技术的飞速发展,如锡溅射靶材和光刻技术,使得目前各领域对于高纯锡的需求日益增加,而对于极紫外光刻技术,其对于作为“燃料”使用的锡的纯度要求极高,往往需要达到n的超纯锡级别。然而,现有技术缺乏高性价比的n超纯锡的先进制备技术,导致超纯锡产品难以大批量制备。目前,金属锡的提纯方法主要有化学法、真空蒸馏法、区熔法等。.中国专利申请号为:cn.,公开日为:年月日...
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