技术编号:36409770
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。非蒸散型吸气剂涂覆装置、非蒸散型吸气剂涂覆容器·管道的制造方法、非蒸散型吸气剂涂覆容器·管道技术领域.本发明涉及非蒸散型吸气剂涂覆装置、非蒸散型吸气剂涂覆容器·管道的制造方法、非蒸散型吸气剂涂覆容器·管道。背景技术.在真空科学技术领域中,作为能量消耗量少且能够在宽压力范围内进行排气的真空泵,具有非蒸散型吸气剂(以下也称作“neg”。)的neg泵备受瞩目。neg泵是利用真空中的加热将neg的表面清洁化,对在连接了非蒸散型吸气剂泵的真空装置内部残留的气体进行吸附,由此从真空装置进行排气的真空泵。...
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