技术编号:36493698
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及在对晶片那样的板状的被加工物进行磨削时使用的磨削装置。背景技术.在对晶片那样的板状的被加工物进行磨削时,使用磨削装置,该磨削装置具有:卡盘工作台,其具有能够对该被加工物进行保持的保持面;以及磨削单元,其具有将排列有多个磨削磨具的磨削磨轮利用螺栓等进行安装的主轴(例如,参照专利文献)。磨削单元由滚珠丝杠式的磨削进给机构支承,该磨削进给机构使磨削磨轮在与保持面交叉的方向上移动,并使磨削磨具与卡盘工作台上的被加工物接触,由此对被加工物进行磨削。.在上述那样的磨削装置中,将磨削磨轮的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。