高压隔离器件及其制作方法与流程技术资料下载

技术编号:36511354

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.本公开的实施例主要涉及半导体领域,并且更具体地,涉及高压隔离器件及其制作方法。背景技术.高压隔离在汽车系统以及其他工业领域中十分常见,其通过隔离防护的方式可以消除高电压与接地电压之间的电位差对半导体元器件的不利影响。近年来,采用电容式或电感式的高压隔离器件变得越来越普遍。然而,传统的高压隔离器件的结构比较复杂,制作工艺中包含多次掩膜(mask)操作,因此增加了工艺难度和成本。此外,传统的高压隔离器件存在成品率低、导电性能受限以及内部应力不稳定等问题。如何提供一种具有简化结构并且便于制作的高...
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