技术编号:36589012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及cvd生产工艺,尤其涉及一种耐高热cvd微波窗口。背景技术、在微波的作用下,使得cvd窗口中的碳氢化合物在高温下分解,气相碳在基体上沉淀,形成具有金刚石晶体结构薄膜,因此确保cvd窗口的密封性、确保微波在反应室中均匀分布促使cvd窗口中的碳氢化合物充分分解,能够节省原料,以及提高金刚石晶体结构薄膜的成品率,因此,我们在原有的cvd窗口上进行改良,设计了一种耐高热cvd微波窗口。、专利号cn.为的一篇中国实用新型专利,其公开了一种改善微波透过率的cvd窗口,...
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