技术编号：36652697
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光伏，尤其涉及一种输送设备、清洗装置、清洗系统和石墨舟清洗方法。背景技术、在光伏领域中pecvd设备是晶硅太阳能电池生产工艺中的关键设备，通过使反应气体电离产生离子来镀膜。、石墨舟作为镀膜工艺生产的载体，在进行工艺反应时采用石墨舟装载硅片，在硅片的表面镀膜的过程中，石墨舟的表面也会镀上绝缘膜，将会使石墨舟表面特性变差，降低其使用寿命，影响反应进行，所以需要定期对石墨舟进行清洗。由于石墨舟本身尺寸大、搬运行程长和需要抬升高度高等现状，采用手动搬运石墨舟时不仅费时耗力而且容易磕碰损伤石...
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