技术编号：36656383
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及光刻机，更为具体地说，涉及一种光刻机的光罩版对准控制方法。背景技术、光刻机的光罩版对准控制指的是在光刻过程中确保光罩版与硅片之间的对准精度，以使得光罩版上的图案与硅片上的图案完全对准，确保在光刻过程中图案的精确转移。、光罩版对准控制是一个复杂流程，涉及对准前的准备工作，包括光罩版传控机械手到接版位，光罩版工作台移到接版位，放版，光罩版工作台移到对准工作位，光罩版粗对准，硅片工作台移动fm(fiducial mark：基准标记)到光罩版对准工作位，调焦，光罩版精对准等。、为了考虑性...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。